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歐傑電子xps
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觀察硼碳氮薄膜之微觀結構;硼碳氮薄膜之成分則使用EDS、X 光光電子能譜儀(XPS) 及歐傑電子能譜儀(AES)來做定性與定量分析,在鍵結分析方面,擬利用拉曼(Raman)
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