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場發射式歐傑電子顯微鏡(AES)／微區表面化學電子能譜儀 ...

刊登日期:2003/9/5. 字級. AES/ESCA/XPS一直是研究表面／薄膜材料之重要分析工具，而現代之場發射式歐傑電子顯微鏡(FE-AES)及微區表面化學電子能譜儀(µ-ESCA/XPS)除 ...

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