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聚焦離子束系統在產品失效分析中的應用 - 人人焦點

... 離子束轟擊樣品產生的二次電子和二次離子，獲得聚焦離子束顯微圖像。 ... 繞射X光、歐傑電子、光電子、背向散射離子、螢光等），偵測其二次粒子的 ...

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