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EDS原理.doc_文档猫

目前，X射線能譜分析儀（EDS）已成為電子顯微鏡的一個基本附件，其工作原理是利用 ... 一作用體積，並在不同層面，釋出歐傑電子、二次電子、背向散射電子以及X射線。

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