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5. 掃描式電子顯微鏡(SEM) 檢測實作觀摩

掃描式電子顯微鏡(scanning electron microscope，SEM)之電子束和試片的碰 ... 電子束會將部份能量傳給試片，而產生二次電子、背向散射電子、歐傑電子、X 光.

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