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如何利用表面分析工具，抓出半導體製程缺陷 - 科技新報

因此，就需靠最常用來檢測奈米薄膜的工具-歐傑電子能譜（AES, Auger Electron ... 另外一種靈敏度更高的表面分析是「飛行時間式」二次離子 ...

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