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機電整合是什麼
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微機電系統的應用 - 奈米新世界- 國立科學工藝博物館
微機電系統,是在1980年後新成立的研究領域,但在歐洲「微機電系統」被稱為「微系統技術」。 微機電系統簡稱為MEMS,是指利用「半導體製程」製作出來各種微型機電整合 ...
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