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微機電光學量測系統晶片設計與製作(I)

成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：□精簡報告□完整報告 ... 本計劃嘗試研發一整合微機電元件與光偵測系統於同一晶片上的微光電光. 學量測晶片。

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