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機械製圖符號
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用于电容式传感器或开关装置的微机械构件的制作方法 - X技术
微机械构件的在此所说明的实施方式的至少一个第一电极和至少一个第二电极的相反定向的运动分量简化了用于确定施加到隔膜的无支撑区域的隔膜外侧上的力或者 ...
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