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機械性質
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薄膜與機械性質實驗室 - 電漿與薄膜科技中心- 明志科技大學
本實驗室以薄膜之機械性質研究為重點,使用三套機械性質測試設備,包括刮痕試驗機、Pin-on-Disk磨耗試驗機與薄膜衝擊試驗機(薄膜壽命量測系統)各一套。
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