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擴散泵 - 華人百科

擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。中文名稱擴散泵外文名稱diffusion pump特 性次級泵，需要前級泵 ...

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