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國立中山大學機械工程學系

渦輪分子真空幫浦（ Turbo Molecular Pump），見圖2.1，源於1912. 年德國人Gaede 發明的分子拖曳幫浦（ Molecular Drag Pump）改良而. 來，渦輪分子真空幫浦的作用原理是 ...

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