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Gamma Vacuum 泵浦：超高真空技術

TSP 的工作方式是加熱鈦絲並將鈦分子昇華(從固態轉換為氣態) 到表面上。然後將昇華的鈦分子與氧氣和氮氣等反應性氣體進行化學反應，並使氫解離與擴散。TSP 10 -5 到10 -12 ...

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