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第三章實驗儀器

渦輪分子幫浦為中級幫浦，亦為動力式幫浦（Kinetic pump）。 其工作範圍為中度真空或高度真空區域範圍。壓力範圍約10-3 ～. 10. -10 torr。此幫浦的工作原理，利用氣體 ...

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