無機鹽類=10~50ng/L(ppt). 總有機碳(TOC)<1μg/L(ppb). 註2. 註1： 日常用水一般可為 ... (五) 機房區應規劃耗材與備品之儲放區。 (六) 機房區內潔淨用水製程設備的清潔 ...
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