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TW202028849A - 產生特徵圖案與訓練機器學習模型之方法

圖6為產生用於圖案化程序之特徵圖案的方法之流程圖。該方法涉及：產生用於設計圖案、光罩圖案之早期設計及開發的特徵圖案(例如，熱點圖案)；及/ ...

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