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半導體廠房空間之研究 以廠務設施為例 - 中華大學

本研究的目的是希望未來在規劃新建或改建半導體廠時，能以機台設施需求 ... 先進行各廠務系統在各製程區域百分比重計算，隱藏實際的數字。

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