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「EUV （极紫外光刻）」是一项什么样的技术？ - 知乎

我在硕士期间赶上了02专项的尾巴，参与研发了应用在光刻机中的重要测量和定位装置，再加上微纳米加工技术一直是我所在课题组的传统方向，所以作为直接利益相关的研究 ...

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