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EUV機台耗電量增10倍台積電大數據提升5%效率| 產經 - 中央社

極紫外光 是半導體微影製程中最新進的機台，台積電表示，EUV機台耗電量是深紫外光微影機台的10倍以上，透過大數據分析手法及機台改善，去年提升5%能源 ...

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