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什么是EUV光刻机？为什么大家都在追求它？ - 大大通

而使用极紫外光（EUV）作为光源的光刻机就是EUV光刻机，当然这绝对不是单纯只换个光源这么简单。 为什么需要EUV光刻？ 现在所用的193nm光源DUV其实是2000年代就开始 ...

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