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極紫外光EUV微影是什麼？影片直擊台積電拚5奈米的關鍵技術 ...

線路圖案的尺寸大小取決於晶片各層，也就是說，晶片各層的曝光需要不同類型的微影設備。 ASML的EUV極紫外光機台專門曝光最複雜、精細的線路圖案，而DUV深 ...

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