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阿斯麥正研發下一代極紫外光刻機計劃2022年年初開始出貨

在年報中，阿斯麥還披露，他們正在研發的下一代極紫外光刻機，將採用High-NA技術，有更高的數值孔徑，解析度和覆蓋能力較他們當前的極紫外光刻機將提高70%。

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