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ASML首台全新極紫外光刻機已交貨 - 新浪新聞

阿斯麥ASML方面表示，EUV (極紫外光) 光刻業務: 第一台NXE:3600D已出貨給客戶。相較於前一代產品，NXE:3600D的生產力提高15%到20%， ...

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