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極紫外光微影製程
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時事關注 - 台灣經濟研究院全球資訊網
2015年5月6日之消息指出,三星將購買ASML的量產型EUV微影技術機台NXE3400,以EUV(極紫外光)微影技術量產7奈米(nm)製程。環顧全球晶圓代工產業之競爭 ...
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