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極紫外光微影製程
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台積電首創乾式EUV光罩潔淨技術改善效益達20億元 - 鉅亨
晶圓代工龍頭台積電(2330-TW) 領先全球導入極紫外光(EUV) 微影製程技術,並首創環境友善的「乾式EUV 光罩潔淨技術」,取代傳統沖洗流程,今年落塵率已 ...
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