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極紫外光微影製程
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台積電拚5奈米關鍵技術!影片直擊極紫外光EUV微影 ... - Aibooks
在台積電法說會上,EUV是近年不斷提到的微影製程名稱,也是現今能在晶片上畫出最精密線路的光罩技術,究竟微影技術是什麼?在神秘的半導體無塵室如何進行 ...
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