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極紫外光微影製程
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台積電5奈米製程帶動極紫外光、微影等真空吸筆製程設備成長
微影製程 (晶圓圖案成形的過程)是半導體製程中不可或缺的步驟。雖然傳統微影通常並不需要真空環境,但極紫外光(EUV)微影與電子束微影就需要搭配 ...
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