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極紫外光微影製程
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【歷史上的今天】搭上EUV熱潮的家登EUV光罩盒很了不起嗎?
EUV是一種使用使用極紫外光的波長的下一代微影技術,最知名就是ASML ... 透過微影機台把IC設計投影光刻到晶圓上,因此光罩的品質好壞對製程 ...
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「極紫外光微影製程」
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