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極紫外光微影製程
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負負得正!清華造出更小更亮的極紫外光光源 ... - 清華大學
本校光電工程研究所陳明彰助理教授研究團隊與中、美等國際團隊合作,令兩項負效應互相彌補,成功創造出體積小卻更亮的極紫外光(EUV),能看見奈米級的微影 ...
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