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極紫外光微影製程
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半導體製程技術 - 聯合大學
光阻. ▫ 感光材料. ▫ 暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 在先進的IC生產工廠中最流行的微影製程工具 ... UV X-ray.
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