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極紫外光微影製程
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超越半导体制程的极限:极紫外光微影(二集之一) - 简体中文
... 数十亿的电晶体,大小约头发宽度的千分之一到万分之一,这些电路是如何制成的呢?答案是通过「 微影 」。本节目为我们介绍了先进的下一代 微影 技术: 极紫外光微影 。
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