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極紫外光微影製程
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https://news.pchome.com.tw/magazine/report/li/scientific/1821/126737280002780033007.htm
跨入16奈米世代--一步到位- 生活科技
目前競爭中的技術包括極紫外光與電子束,但兩者都有著難以解決的問題,勝負仍未分曉。 □國家奈米元件實驗室研發的「奈米噴印成像技術」,將微影製程 ...
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