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極紫外光微影製程
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EUV機台耗電量增10倍台積電大數據提升5%效率
中央社記者張建中新竹30日電)極紫外光是半導體微影製程中最新進的機台,台積電表示,EUV機台耗電量是深紫外光微影機台的10倍以上,透過大數據分析 ...
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