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極紫外光微影製程
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節能有成!EUV機台耗電量增10倍台積電靠「大數據」提高5 ...
隨著先進製程不斷演進、積體電路製程複雜度日益增加而衍生的用電量增加,其中極紫外光是半導體微影製程中最新進的機台,台積電表示,EUV機台耗電量是 ...
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