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極紫外光微影製程
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極紫外光微影技術 - Retaig
極紫外線EUV 光罩是以新式微影系統,透過高能量、短波長的光源,將電路圖案轉印到晶圓。EUV 光源波長比目前深紫外線微影製程的光源波長短少約15 倍,因此能持續將線寬尺寸 ...
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