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極紫外光微影製程
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小檔案︰ 極紫外光(EUV)微影製程 - 自由財經
極紫外光 (EUV)微影製程,被半導體產業視為「救世主」,因為目前半導體製程的主流光源是氬氟雷射,波長為193奈米,當電晶體尺度已微縮到幾十奈米時, ...
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