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極紫外光微影製程
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ASML如何製造出EUV極紫外光?EUV光源研發的故事
目前EUV 極紫外光微影 成為ASML獨有的技術。波長13.5奈米的EUV 極紫外光 可以在外太空自然產生,但要讓「EUV 極紫外光微影 技術」成功,我們必須研發出機台 ...
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