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極紫外光微影製程
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(12)發明說明書公告本
了符合較高解析度之微影製程需求,因而發展極紫外光微 ... 光罩之製程中,為了於晶圓基板上製造IC 圖案,極紫外光. 光罩的邊界區域(border)的反射率將是一項挑戰。
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