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極紫外光微影製程
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科學發展月刊 - 國內學術電子期刊系統
波長為深紫外光的數千分之一,因此具有極佳的解析. 能力,以往的電子束微影技術多用於光學微影系統所. 使用之光罩(mask) 的製作,近年來為了彌補光學微. 影系統解析度 ...
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