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極紫外光微影製程
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極紫外光微影之高階材料檢測分析 - 材料世界網
然而,隨著間距需微縮到7奈米以下時,此時需要多道光罩(Mask)來對準曝光,因此,製程困難度與成本的上升使得晶片無法有經濟效益的量產。與193 nm浸潤式微 ...
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