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極紫外光微影製程
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ASML:EUV產能飆到2025年4檔受注目 - 工商時報
微影 設備大廠艾司摩爾(ASML)20日召開法人說明會,預期邏輯製程及DRAM製程將加速導入極紫外光(EUV)微影技術,2022年EUV曝光機年產能將提升至55台, ...
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