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極紫外光微影製程
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掌握技術找資源EUV設備龍頭給台灣企業的啟示 - 知勢
隨著台積電、三星等半導體大廠相繼投入EUV製程,艾司摩爾(ASML)所生產的極紫外光(EUV)微影設備,也越來越重要,各半導體大廠如果想在先進奈米製程 ...
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