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極紫外光微影製程
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EUV技術是摩爾定律「續命丹」? - 電子工程專輯
荷蘭半導體設備大廠ASML計畫推出新一代的極紫外光(EUV)微影設備,號稱可延長 ... 該公司預期,晶片製造商一開始會在訴求成本節省的單次曝光EUV製程中 ...
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