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極紫外光微影製程
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極紫外光微影 - 國家同步輻射研究中心
與現今的深紫外光(l=193nm)微影技術相較,極紫外光的波長(13.5nm)大幅縮短,能量更高,因此從光源、光罩、光阻、檢測、微影製程到元件可靠度均與目前的技術有極大的差異。
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