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極紫外光微影製程
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摩爾定律的華麗謝幕:EUV微影機 - Digitimes
深紫外光的光源還可以經由重複曝光的方式,將製程的極限推到7~10奈米的線寬。若要更小的線寬,勢必得尋找更短波長的光源,此時極紫外光(extreme UV,13.5 ...
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