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極紫外光微影製程
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一窺全世界技術最精密的機具-工業技術與資訊月刊-出版品
極紫外光 接著反射到餐盤大小的晶圓,將線路圖案蝕刻到位。 ... 第一代EUV微影技術的晶片已受到大公司如Google與Amazon的採用,用於改善語言翻譯、搜尋 ...
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