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奈米級光罩保存的微環境控制與智慧節能 ... - SEMICON Taiwan

A.傳統光罩氮氣櫃為全室無止盡填充，本設計為單盒光罩盒填充。 B.利用濕度設定值來控制氮氣流入，到達濕度設定值即停止進氣，節省氮氣耗用80%以上。

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