其中E、n 和t0 分別為矽基材之楊氏模數、浦松比. 及厚度,tf 為薄膜層之厚度,R1 為基材表面起始曲. 率半徑,R2 為薄膜沉積於基材上之曲率半徑。 Stoney's equation 已廣泛 ...
確定! 回上一頁