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CMOS-MEMS 電容式感測元件與製程平台之研究 - 心得報告

如殘餘應力(Residual stress)、楊氏係數(Young's modulus)、熱膨脹 ... 提供CMOS-MEMS元件設計者一個更多樣性的製程選擇，及提供更有彈性的材料特性。

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