4.3 雷射干涉儀的校準與精度驗證. ... 執行雷射校正前應把參數1851、1852 及Pitch 皆設0。 ... 雷射鏡組架設方式X 軸與Z 軸差別在於干涉鏡架設方式不同,圖3.12 為.
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